特許
J-GLOBAL ID：200903071343013361
電流駆動導電性材料評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148831
公開番号（公開出願番号）：特開平7-014897
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明は短時間で配線材料のエレクトロマイグレーションおよびストレスマイグレーション耐性を独立に評価できる電流駆動導電性材料評価方法を提供することを目的とする。【構成】 配線に第1の電流を流して抵抗値を測定した後、第1の電流よりも大きな第2の電流を所定の時間流して配線に物性変化を生ぜしめた後、再び第1の電流で配線の抵抗値を測定する操作を繰り返すことにより、配線の信頼性を加速評価する方法において、第2の電流を流す時間を、第1の電流よりも充分に小さくして第2の電流通電時の温度上昇を50°C以下に制御し配線のエレクトロマイグレーション耐性を計測する。また、第2の電流をエレクトロマイグレーションが起こらない電流値とし、繰返し周期を10msec以下で、第2の電流通電時の配線温度の上昇を100°C以上となるように第2の電流を流す時間を設定して、配線のストレスマイグレーションを計測する。
請求項（抜粋）：
導電性材料よりなる配線パターンに第1の電流を流すことにより前記配線パターンの抵抗値を測定した後、前記配線パターンに前記第1の電流よりも大きな電流値を有する第2の電流を所定の時間流すことにより前記配線パターンにエレクトロマイグレーションを生ぜしめ、前記第2の電流を切った後再び前記第1の電流を流して前記配線パターンの抵抗値を計測する操作を複数回繰り返すことにより前記配線パターンのエレクトロマイグレーション耐性を加速評価する方法において、前記第2の電流を流す時間を、前記第1の電流を流す時間より充分に小さくすることにより、前記第2の電流通電時の温度上昇を前記第1の電流通電時の温度に比べ50°C以下に制御して前記配線のエレクトロマイグレーション耐性を計測することを特徴とする電流駆動導電性材料評価方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 27/00
, G01R 31/26
