特許
J-GLOBAL ID：200903071345152890
カンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069515
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280831
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 応力に基づいた変位によって衝突する片持梁を全体的に支持するストッパを設置することにより、片持梁の損傷を防止したカンチレバーを提供する。【構成】 カンチレバーは、中空領域13,14によって基板10を部分的に分離した梁部12及び基部11とから構成されている。この基部11は、梁部12の尾端を片持状に支持している。ストッパは引張弾性を有する樹脂で形成され、変動部31、支持部32及び伸縮部33a〜33cとから構成されている。変動部31は梁部12上に形成され、支持部32は梁部12を所定間隔で取り囲む基部11上に形成され、伸縮部33a〜33cは変動部31と支持部32との間を部分的に接続して変動部31及び支持部32間の距離よりも冗長に形成されている。外部からの比較的大きい応力が負荷しても、伸縮部33a〜33cが弛みを無くして最大限に伸びると、梁部12は制動を受けるので、梁部12の変位が所定限度を越えることはない。
請求項（抜粋）：
基板の内側領域から形成されている梁部と、この梁部の一端を片持状に支持して前記基板の周辺領域から形成されている基部とから構成されたカンチレバーにおいて、前記梁部上に形成されて前記梁部と共に変位する変動部と、前記梁部を所定間隔で取り囲む前記基部上に形成されて前記基部と共に固定した支持部と、前記変動部と前記支持部との間の距離よりも冗長である幅を有して形成されて前記変動部及び前記支持部を部分的に接続する複数個の伸縮部とから一体に構成された引張弾性を有する樹脂で形成され、外部から負荷した応力に対応する前記梁部の変位を限定するストッパを備えることを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
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