特許
J-GLOBAL ID：200903071345349910
静電吸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217898
公開番号（公開出願番号）：特開平8-066071
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 被吸着物の吸着力を正確に制御できるとともに吸着状態を的確にモニタできる静電吸着装置を提供すること。【構成】 本発明は誘電体2を間にして電極3と被吸着物である薄板基板10とを配置し、所定の電圧Vを印加しすることで誘電体2を介して電極3と薄板基板10との間に微少電流iを流し、これによって生じる静電力を利用して薄板基板10を誘電体2の表面に吸着する静電吸着装置1であり、電流計4によって測定した微少電流iの値を制御部5に入力し、その測定値に基づいて電極3と薄板基板10との間に印加する電圧Vを制御するものである。
請求項（抜粋）：
誘電体を間にして電極と被吸着物とを配置した状態で該電極と該被吸着物との間に所定の電圧を印加し、該誘電体を介して該電極と該被吸着物との間に微少電流を流すことによって生じる静電力を利用して該被吸着物を該誘電体の表面に吸着する静電吸着装置であって、前記微少電流を測定するための電流測定手段と、前記電流測定手段で測定した微少電流に基づき前記電極と前記被吸着物との間に印加する電圧を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
H02N 13/00
, B23Q 3/15
, H01L 21/68
