薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118907
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312303
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】記録トラック幅を規定するポールチップとヨーク部分との連結箇所での磁束の飽和や漏れがなく、特性が良好な薄膜磁気ヘッドおよびそれを高い歩留りでかつ低コストで製造できる方法を提供する。【解決手段】磁性層37の上に無機絶縁層38を形成し、その上にライトギャップ層39を形成した後、導電性磁性材料より成るシード層40を形成し、このシード層を一方の電極とする電気メッキによってポールチップを構成する磁性材料層41を選択的に形成し、さらにこのシード層を用いて銅の電気メッキを行って薄膜コイルを構成する導電材料層43を形成する。次に、余分なシード層40をイオンビームエッチングよって除去し、薄膜コイルを絶縁分離した状態で支持する無機絶縁層44を形成する。絶縁層48で支持された第2層目の薄膜コイル47を形成した後、ヨーク部分49を、その先端面がエアベアリング面から後退するように形成する。

請求項（抜粋）：

磁極部分を有する磁性層と、磁気記録媒体と対向し、記録トラックの幅を規定する幅を有する磁極部分を有し、この磁極部分の端面が前記磁性層の磁極部分の端面と共にエアベアリング面を構成するポールチップと、このポールチップのエアベアリング面から離れた後方部分において連結されるとともにエアベアリング面から遠い位置において前記磁性層と磁気的に連結されたヨーク部分と、少なくとも前記エアベアリング面において前記磁性層の磁極部分とポールチップとの間に介挿されたライトギャップ層と、前記磁性層と前記ポールチップおよびヨーク部分との間に絶縁分離された状態で支持された部分を有する薄膜コイルと、前記磁性層、ポールチップ、ヨーク部分、ライトギャップ層および薄膜コイルを支持する基体と、を具える薄膜磁気ヘッドであって、前記ポールチップが導電性磁性材料のシード層と磁性材料層とを有し、前記薄膜コイルが前記導電性磁性材料と同じ導電性磁性材料のシード層と、導電材料層とを有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (2件)：

G11B 5/31 , G11B 5/39

FI (5件)：

G11B 5/31 D , G11B 5/31 C , G11B 5/31 F , G11B 5/31 K , G11B 5/39

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-247809
特開昭61-150118
特開平2-235211

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