特許
J-GLOBAL ID：200903071358586899
測光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330482
公開番号（公開出願番号）：特開平9-170950
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 光検出器の光電変換面から放出される光電子の個数の平均値を高精度に推定して入射光量を精度よく測定する。【解決手段】 入射光束Aが光検出器10に入射すると光電子Bが放出され、APD15aないし15dそれぞれで増倍されて電流信号が出力される。この電流信号それぞれは、積分器20で所定時間積分されて電圧信号となり、この電圧信号は、AD変換器50でデジタル値に変換され、このデジタル値は、ヒストメモリ60に入力して、各APDについて電圧信号の波高分布が生成される。被測定光束が光検出器10に入射して各APDについて生成された波高分布と、単一光電子事象の波高分布と、k-光電子事象の波高分布(k=2,3,...)とに基づいて、演算部70において、被測定光束が光検出器10に入射して放出されて各APDに入射した光電子の個数分布が推定され、さらに被測定光束の光量が求められる。
請求項（抜粋）：
被測定光束の光量に応じた分布に従った個数の光電子を放出する光電変換面と、それぞれ光電子数分布に従った個数の光電子を入射し増倍して電流信号を出力する2以上の所定数の増倍部と、前記被測定光束を透過させる入射窓を有し前記光電変換面および前記所定数の増倍部を内部に含む真空容器と、を備える光検出器と、前記所定数の増倍部それぞれから出力された前記電流信号それぞれを所定時間積分して電圧信号に変換する積分手段と、前記電圧信号に応じたデジタル値に変換するAD変換手段と、前記所定数の増倍部のそれぞれ及び前記デジタル値に対応する番地に所定値を累積加算して、前記所定数の増倍部それぞれについて前記電圧信号の波高分布を生成する波高分布生成手段と、前記所定数の増倍部それぞれに入射する光電子が1個の場合に前記波高分布生成手段で生成される波高分布を単一光電子事象波高分布として獲得する単一光電子事象波高分布生成手段と、前記所定数の増倍部それぞれに入射する光電子の個数kが2以上かつ一定数以下のそれぞれの場合におけるk-光電子事象波高分布を、前記単一光電子事象波高分布に基づいて漸化的にコンボリューション計算によって算出するk-光電子事象波高分布生成手段と、前記被測定光束が前記光電変換面に入射して放出された光電子が前記所定数の増倍部の何れかに入射して前記波高分布生成手段で生成された波高分布と、前記単一光電子事象波高分布と、前記光電子の個数kそれぞれの場合における前記k-光電子事象波高分布とに基づいて、前記被測定光束が前記光電変換面に入射した場合の前記所定数の増倍部それぞれについての前記光電子数分布を推定することによって、前記被測定光束の光量を求める光電子数分布推定手段と、を備えることを特徴とする測光装置。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 1/44
, G01N 21/64
G01J 1/02 D
, G01J 1/44 F
, G01N 21/64 Z
