半導体露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031337
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198467
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】露光光のエネルギーによる温度変動を正確にモニタし、これに基づき投影レンズの光学特性を高精度に一定に保つことができる半導体露光装置を提供する。【構成】露光転写すべきパターンを照射する照明手段2と、該照明手段2により照射されたパターンを被露光物4上に投影し該被露光物4の感光面に該パターンを結像するための投影光学系3とを具備した半導体露光装置において、前記投影光学系3内部の温度変化又は温度変化による状態変化を検出する温度変動検出手段6と適切な温調を行うシステムを設ける。

請求項（抜粋）：

露光転写すべきパターンを照射する照明手段と、該照明手段により照射されたパターンを被露光物上に投影し該被露光物の感光面に該パターンを結像するための投影光学系とを具備した半導体露光装置において、前記投影光学系内部の温度変化または温度変化による状態変化を検出する温度変動検出手段を設けたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 301 H , H01L 21/30 311 L

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