特許
J-GLOBAL ID：200903071364001096
固体撮像装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-273068
公開番号（公開出願番号）：特開平8-116041
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 マイクロレンズマスク形成のための露光装置の光学系の調整を必要とせずに、各光電変換素子の感度を均一な状態で向上できる固体撮像装置の製造方法を提供する。【構成】 半導体基板の表面に多数の光電変換素子1をマトリクス状に形成し、該光電変換素子1に対応してマイクロレンズ4を配設した固体撮像装置の製造方法において、光電変換素子群を光電変換素子群の外縁形状に対して相似形状となるようにブロック2a,2b,2cに分割し、各光電変換素子1に対応する各マイクロレンズ4を、各分割ブロック単位毎に光電変換素子群の中央部から周辺部になるにつれて光電変換素子群の中央部側に偏倚させて形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に形成された複数の光電変換素子からなる光電変換素子群と、該光電変換素子群が形成された半導体基板の主表面上に前記各光電変換素子に対応して形成されたマイクロレンズからなるマイクロレンズ群とを備えた固体撮像装置の製造方法において、前記光電変換素子群を任意のブロックに分割し、各光電変換素子に対応する各マイクロレンズを、各分割ブロック単位毎に光電変換素子群の中央部から周辺部になるにつれて中央部側に偏倚させて形成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
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