流体が封入されたMEMS光スイッチ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-578682
公開番号（公開出願番号）：特表2002-528759
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2002年09月03日
要約：

【要約】流体が封入されたMEMS光スイッチは、導波路の交差点(29)に配置されたトレンチ内に位置づけられているMEMSミラー(22)を有する光導波路マトリクスを含んでいる。トレンチは視準維持流体(30)で満たされ、ミラー(22)がその中に浸せきされている。視準維持流体(30)は、スイッチの交差点に浸入する際の光ビームの拡散を防止する。この特徴によって格段に小さいMEMSミラー(22)の使用が可能となり、関連技術において見受けられるMEMSミラー(22)の典型的な問題点の幾つかが防止される。特に、本発明において開示されているMEMSミラー(22)は、およそ幅15、厚さ2に縮小されており、動作距離が約15とさらに短くなっている。この特徴は、より早い切換時間を有する光スイッチをもたらす。

請求項（抜粋）：

光信号を方向付けるための光スイッチにおいて、入力ポートと、出力ポートと、屈折率n1を有するコア部分とを有する少なくとも1つの光導波路と、前記少なくとも1つの光導波路において前記入力ポートと前記出力ポートとの交差点に形成された少なくとも1つのトレンチと、前記少なくとも1つのトレンチ内に配置された視準維持流体であって、前記コア部分の前記屈折率と実質的に同じ屈折率を有する視準維持流体と、光信号を前記出力ポートへと方向付けるための開位置と閉位置とを有する少なくとも1つの可動スイッチング素子であって、前記少なくとも1つのトレンチに配置され、かつ前記開位置及び前記閉位置にある場合に前記視準維持流体内に実質的に浸せきされている少なくとも1つの可動スイッチング素子と、を備えていることを特徴とする光スイッチ。

IPC (4件)：

G02B 26/08 , B81B 5/00 , G02B 6/12 , G02B 6/13

FI (4件)：

G02B 26/08 E , B81B 5/00 , G02B 6/12 H , G02B 6/12 M

Fターム (18件)：

2H041AA16 , 2H041AB13 , 2H041AC04 , 2H041AC06 , 2H041AC07 , 2H041AC10 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08 , 2H047KA03 , 2H047KB01 , 2H047LA12 , 2H047NA10 , 2H047PA02 , 2H047PA05 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047QA05 , 2H047RA08

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