クリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-112066
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307511
出願日： 2002年04月15日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内の大気中の有機物を、多孔質高分子系吸着剤を用いたときより正確に分析する方法を提供する。【解決手段】吸着剤として、グラファイトカーボン系吸着剤を用いるクリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法。グラファイトカーボン系吸着剤にクリーンルーム内の大気を接触させて該大気中の有機物を該吸着剤に吸着させる第1工程と、該吸着剤を加熱して該吸着剤に吸着した有機物を熱脱離させる第2工程と、前記第2工程により熱脱離した有機物を分離分析装置を用いて分析を行う第3工程とからなる分析方法。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム内の大気中の有機物を分析するに際し、当該有機物の吸着剤として、グラファイトカーボン系吸着剤を用いることを特徴とするクリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法。

IPC (7件)：

G01N 30/48 , F24F 7/06 , G01N 1/22 , G01N 30/00 , G01N 30/04 , G01N 30/72 , G01N 30/88

FI (8件)：

G01N 30/48 J , G01N 30/48 G , F24F 7/06 C , G01N 1/22 L , G01N 30/00 E , G01N 30/04 A , G01N 30/72 A , G01N 30/88 C

Fターム (25件)：

2G052AA03 , 2G052AB11 , 2G052AC13 , 2G052AD02 , 2G052AD22 , 2G052AD26 , 2G052AD42 , 2G052BA02 , 2G052BA14 , 2G052CA02 , 2G052CA04 , 2G052CA12 , 2G052EB01 , 2G052EB04 , 2G052EB11 , 2G052EB13 , 2G052ED01 , 2G052ED06 , 2G052ED09 , 2G052GA24 , 2G052GA27 , 2G052JA09 , 2G052JA11 , 2G052JA13 , 3L058BF09

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