特許

J-GLOBAL ID：200903071379810896

搬送手段の停止位置調整機構

発明者： 片岡 之典 ,  飯田 成昭 ,  小沢 誠司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041781
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243479
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】 搬送アームの搬送先である停止位置の位置調整を正確かつ迅速に行う。【解決手段】 搬送アーム51で保持可能で,かつCCDカメラ70の搭載された軌跡検出用ウェハKと,搬送アーム51のアクセス可能な位置に設けられ,グリッド図Aの記された背景部材73とを備える。軌跡検出用ウェハKを搬送アーム51に保持させた状態で,グリッド図A上を移動させ,CCDカメラ70によって搬送アーム51の所定移動区間の移動軌跡を撮像する。この撮像した移動軌跡に基づいて前記所定移動区間内にある搬送アーム51の搬送先である停止位置の設定を修正する。

請求項（抜粋）：

ホーム位置から少なくとも所定方向に移動して,基板を搬送する搬送手段における,搬送先の停止位置を調整する調整機構であって,前記搬送手段の所定方向への移動軌跡を検出する移動軌跡検出手段と,前記移動軌跡検出手段により検出された移動軌跡に基づいて,搬送手段の搬送先の停止位置を修正する制御手段と,を備えたこと特徴とする,搬送手段の停止位置調整機構。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 562

Fターム (31件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA04 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA51 ,  5F031KA20 ,  5F031LA08 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD05 ,  5F046CD10