特許

J-GLOBAL ID：200903071385216432

電子プロ-ブマイクロアナライザ

発明者： 大槻 正行 ,  大橋 秀実
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012626
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214111
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 測定時間を短縮しビームダメージを回避できるようにしたEPMAを提供する。【解決手段】 ガン部1より射出される電子ビーム2を試料ステージ8上に載置した試料5に照射させるための収束レンズ3及び対物レンズ4と、試料ステージを駆動するためのステージモータ10と、該ステージモータを制御するためのステージ制御部11と、電子ビームが照射された試料から発生するX線を検出するX線カウンタ6と、該X線カウンタからの信号を受けてX線を計測するX線計測系7と、試料の吸収電流を試料測定中継続して測定する吸収電流測定部9と、吸収電流測定部で測定された吸収電流の大きさを判定し、X線計測系の計測動作のオン・オフの制御及びステージ制御部のステージ移動速度の制御を行う電流判定制御部12とでEPMAを構成する。

請求項（抜粋）：

試料を載置したステージ又は試料に照射する電子ビームを2次元的にスキャンする走査手段と、電子ビームを照射した試料から発生するX線を検出し測定するX線計測手段とを有する電子プローブマイクロアナライザにおいて、試料の測定中連続的に試料の吸収電流を測定する吸収電流測定部と、測定された吸収電流値に応じて前記X線計測手段と走査手段とを制御する電流判定制御部とを備え、該電流判定制御部は、測定された吸収電流値が試料測定不適値であると判定したときには前記X線計測手段の計測を停止させると共に前記走査手段のスキャン速度を高速に設定するように制御し、測定された吸収電流値が試料測定適正値であると判定したときには前記X線計測手段の計測動作を実行させると共に前記走査手段を定速スキャンさせるように制御する如く構成されていることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/147 Z ,  H01J 37/252 A

Fターム (17件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA11 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA09 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001NA04 ,  2G001NA16 ,  2G001PA11 ,  5C033PP01 ,  5C033PP04 ,  5C033PP08