バンプ検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201277
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053290
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、バンプ検査装置、特に、プリント基板のパッドに形成されたバンプをX線の透過により検査するバンプ検査装置に関し、パッドとバンプとの接続部分の欠陥を高精度に検出することができるバンプ検査装置を提供することを目的とする。【構成】プリント基板10のパッド12に形成されたバンプ14をX線の透過により検査するバンプ検査装置において、プリント基板10を載置するサンプルステージ38と、前記プリント基板10のパッド12に形成されたバンプ14に対して垂直方向から主X線を照射する主X線源22と、前記バンプ14を透過した主X線を検出して画像化する主X線センサ24と、前記主X線源22より低い線源電圧を有し、前記バンプ14のピッチ及び高さで定まる正接に近い角度θで前記バンプ14に対して副X線を照射する副X線源26と、前記バンプ14を透過した副X線を検出して画像化する副X線センサ28と、を含むように構成する。

請求項（抜粋）：

プリント基板(10)のパッド(12)に形成されたバンプ(14)をX線の透過により検査するバンプ検査装置において、プリント基板(10)を載置するサンプルステージ(38)と、前記プリント基板(10)のパッド(12)に形成されたバンプ(14)に対して垂直方向から主X線を照射する主X線源(22)と、前記バンプ(14)を透過した主X線を検出して画像化する主X線センサ(24)と、前記主X線源(22)より低い線源電圧を有し、前記バンプ(14)のピッチ及び高さで定まる正接に近い角度(θ)で前記バンプ(14)に対して副X線を照射する副X線源(26)と、前記バンプ(14)を透過した副X線を検出して画像化する副X線センサ(28)と、を含むことを特徴とするバンプ検査装置。

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