特許

J-GLOBAL ID：200903071388548193

形状測定装置

発明者： 後藤 幸博 ,  井上 三津二 ,  小池 菊代 ,  福留 裕二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296744
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】測定対象物からの正反射光とその他の光と間違うことなく選別でき、より高精度で信頼性の高い形状測定装置を提供することにある。【構成】複数のLED2...を任意に点灯させてはんだSを異なる角度から照明し、はんだSの表面で正反射した光を撮像し、得られた画像から正反射光の像の位置を求めてはんだSの3次元形状を測定する形状測定装置において、複数の正反射光の像A〜Dの相対距離l1 と、リ-ドの先端16から複数の正反射光の像A〜Dとの間の距離l2 とを基にしてはんだSからの反射光の適正を判断する。

請求項（抜粋）：

複数の光源を任意に選択しながら点灯させて測定対象物を異なる角度から照明し、上記測定対象物の表面で正反射した光を撮像し、得られた画像から正反射光の像の位置を求めて上記測定対象物の3次元形状を測定する形状測定装置において、複数の正反射光の像の相対距離と、基準位置から上記複数の正反射光の像との間の距離とを基にして上記測定対象物からの反射光の適正を判断することを特徴とする形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  B23K 1/00 ,  G06F 15/70 335 ,  H05K 3/34