X線応力測定方法および測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081738
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275113
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】試料表面におけるX線の屈折の効果を排除し、試料の表面近傍もしくは薄膜形態試料における内部応力を正確に測定する。【解決手段】試料3は、試料回転機構21上に保持されており、これによりX線源9からの一次X線4の入射角度αが5°以下に設定される。試料3で回折した回折X線5は、X線検出器6でその強度が測定される。算出部19は、X線検出器6で測定された回折X線5の強度分布から回折角度θを検出し、入射角度αと回折角度θのデータから、X線の屈折による影響がないときの回折角度を求め、それに基づいて試料3の内部応力を算出する。

請求項（抜粋）：

多結晶性の試料にX線を照射したときに前記試料によって回折されて前記試料から出射する回折X線の回折角度を測定することにより前記試料の内部応力を測定するX線応力測定方法であって、前記試料の表面に対する、入射X線の入射角度または前記回折X線の出射角度を5°以下に設定し、設定された前記入射角度または出射角度における前記回折X線の強度分布を測定する工程と、測定された前記回折X線の強度分布から回折角度を検出する工程と、前記入射角度または出射角度と前記回折角度のデータから、X線の屈折による影響がないときの回折角度を求める工程と、前記X線の屈折による影響がないときの回折角度から、前記試料の内部応力を求める工程とを有する、X線応力測定方法。

IPC (2件)：

G01L 1/00 , G01N 23/20

FI (2件)：

G01L 1/00 A , G01N 23/20

Fターム (20件)：

2G001AA01 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA03 , 2G001DA06 , 2G001DA07 , 2G001DA09 , 2G001EA09 , 2G001FA08 , 2G001FA18 , 2G001GA03 , 2G001GA13 , 2G001HA12 , 2G001JA06 , 2G001JA11 , 2G001KA07 , 2G001MA05 , 2G001SA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-148027
特開平3-148027
特開平3-148027

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