基板保管装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-136144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314703
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】コンパクトな装置構成によって、多量の保管基板を、汚染を防止しながら収容密度高くかつ出し入れ容易に収容することができる基板保管装置を提供する。【解決手段】基板W又は基板を収容する容器10を個別に出し入れ可能な複数の収容室16と、各収容室に連通する送気通路24及び排気通路26と、送気通路及び排気通路を介して各収容室内に清浄空気を循環させる共通の空気循環手段24,26,28とを有する。

請求項（抜粋）：

基板又は基板を収容する容器を個別に出し入れ可能な複数の収容室と、前記各収容室に連通する送気通路及び排気通路と、前記送気通路及び排気通路を介して前記各収容室内に清浄空気を循環させる共通の空気循環手段とを有することを特徴とする基板保管装置。

IPC (3件)：

B65G 1/00 521 , F24F 7/06 , H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 1/00 521 D , F24F 7/06 C , H01L 21/68 A

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