特許
J-GLOBAL ID：200903071397949427
基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324950
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163294
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 任意のタイミングでハンド上の基板の有無を判定することが可能な基板搬送装置を提供することである。【解決手段】 基板搬送装置は2つのハンド10a,10bを有する。ハンド10aはアーム21a,22aからなる関節アーム機構によりX軸方向に移動可能に第1の移動体30上に設けられ、ハンド10bはアーム21b,22bからなる関節アーム機構によりX軸方向に移動可能に第1の移動体30上に設けれている。ハンド10a,10bには基板Wの裏面を検知するように基板センサ51が取り付けられている。基板センサ51に接続されるワイヤ54はアーム21a,22a,21b,22bの側面に沿って案内され、ワイヤ係止め部55により係止される。
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持部と、予め定められた1または複数の方向に移動可能な可動支持部と、前記基板保持部を前記可動支持部に対して所定の方向に移動させる駆動機構部とを備えた基板搬送装置において、前記駆動機構部が関節機構により折り畳み自在に連結された複数のアーム部材からなり、前記基板保持部に基板の有無を検知する基板検知手段が配設され、前記基板検知手段からの配線が前記複数のアーム部材に沿って前記可動支持部に導かれたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25J 9/06 D
, B65G 49/07 D
