特許

J-GLOBAL ID：200903071402179821

基板上に配置された固化層からモールドを分離させる方法

発明者： チョイ,ビュン-ジン ,  チェララ,アンシュマン ,  チョイ,ヨン-ジュン ,  メイッスル,マリオ・ジェイ ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ ,  シューメーカー,ノーマン・イー ,  ル,シャオミン ,  マックマッキン,イアン・エム ,  バブス,ダニエル・エイ
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-553123
公開番号（公開出願番号）：特表2008-537513
出願日： 2006年01月12日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

本発明はテンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法に向けられ、この方法はとりわけ、層からテンプレートを分離させるためにテンプレートに分離強制力を印加する工程、および分離を達成するために必要とされる分離強制力を小さくするために基板内の局所的変形を促す工程を含む。

請求項（抜粋）：

テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、 前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、 前記基板内の局所的に変形させるステップとを含む方法。

IPC (5件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B29C 33/44 ,  B81C 5/00

FI (5件)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  G03F7/20 501 ,  B29C33/44 ,  B81C5/00

Fターム (32件)：

2H097AA20 ,  3C081AA17 ,  3C081CA37 ,  4F202AA44 ,  4F202AD03 ,  4F202AD04A ,  4F202AD19 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH81 ,  4F202AM30 ,  4F202AR02 ,  4F202AR07 ,  4F202CA01 ,  4F202CA19 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CB12 ,  4F202CB29 ,  4F202CM08 ,  4F202CM31 ,  4F202CP04 ,  4F202CP06 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ08 ,  4F209AM28 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ14 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-166645
  
• 特開昭63-131352
  
• 特開昭58-122828