特許

J-GLOBAL ID：200903071403341363

複合分析装置

発明者： 高橋 弘
出願人/特許権者： 株式会社エイコー・エンジニアリング
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-076886
公開番号（公開出願番号）：特開平5-089817
出願日： 1991年03月16日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 二次イオン質量分析(SIMS)及びイオン散乱分析(ISS)を複合することにより、試料の組成の同定を容易とし、定量性も可能であり、高感度で効率的な試料の分析を可能とする。【構成】 質量分析装置では、イオン源1からのイオンビームが照射され、これによって固体試料2の表面から散乱される散乱イオンは、入射レンズ部3と、アラインメント・デフレクター部4及び四重極質量分析計5等の二次イオン分離装置を介し、その後方側方に設けられた二次イオン検出器6と、あるいは、後方に配置された散乱イオン及び中性粒子検出器7に導入される。すなわち、行なわれる分析の種類によって二次イオン質量分析装置とイオン散乱分光装置とに切り替え、組成分析を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

イオンビームを発生照射するイオン源と、上記イオン源から照射されるイオンビームにより固体試料表面から散乱する散乱イオン及び2次イオンを取り込む入射レンズ部と、上記入射レンズ部の後方に設けられ、入射された2次イオン及び散乱イオンの質量を分析する質量分析装置と、得られた散乱イオンからイオン散乱分光によって上記固体試料の組成分析を行うイオン散乱分光装置とを備えたことを特徴とする複合分析装置。

IPC (2件)：

H01J 37/252 ,  H01J 49/42

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭51-099094
  
• 特開昭63-096050
  
• 特開昭52-014481