特許

J-GLOBAL ID：200903071404374532

ウェーハホルダー

発明者： 内山 勇雄 ,  工藤 秀雄
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003354
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211689
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハの洗浄工程等において、口径の異なるウェーハのハンドリングに適したウェーハホルダーを提供する。【構成】 ロボットハンドの先端部に回転可能に取付けられ、かつ口径の異なる1枚以上複数枚のウェーハを口径別に保持するウェーハ保持口径の異なる複数個のウェーハ保持部を有し、保持すべきウェーハの口径に応じて回転させることによって該ウェーハ保持部のウェーハ保持口径の切替えを行うことができるようにする。

請求項（抜粋）：

ロボットハンドの先端部に回転可能に取り付けられ、かつ口径の異なる1枚以上複数枚のウェーハを口径別に保持するウェーハ保持口径の異なる複数個のウェーハ保持部を有し、保持すべきウェーハの口径に応じて回転させることによって該ウェーハ保持部のウェーハ保持口径の切替えを行なうことができるようにしたことを特徴とするウェーハホルダー。

IPC (4件)：

H01L 21/304 361 ,  H01L 21/304 341 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-164039
  
• 特開昭61-023324
  
• 特開昭61-237429