特許

J-GLOBAL ID：200903071410116049

アルミナ系砥石、ダイヤモンド系砥石および切削加工方法

発明者： 宮川 純
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-316678
公開番号（公開出願番号）：特開2002-120155
出願日： 2000年10月17日
公開日（公表日）： 2002年04月23日
要約：

【要約】【課題】 バッキングプレートを外した使用済みスパッタリングターゲットのターゲット部に付着する接合材を実質上問題がなくなるまで除去しうる技術を提供する。【解決手段】 砥粒率が30〜48%、結合剤率が7〜15%、気孔率が45〜63%であるアルミナ系砥石またはダイヤモンド系砥石で、使用済みスパッタリングターゲットに付着する接合材を除去する。前記使用済みスパッタリングターゲットは、Au、Ag、Ir、Ru、Tb、GeおよびGdからなる群より選ばれた1種以上を含む場合に、本発明の切削加工方法が好適である。

請求項（抜粋）：

砥粒率が30〜48%、結合剤率が7〜15%、気孔率が45〜63%のアルミナ系砥石またはダイヤモンド系砥石。

IPC (5件)：

B24D 3/18 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 ,  B24D 3/32 ,  C23C 14/34

FI (5件)：

B24D 3/18 ,  B24D 3/00 320 A ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/32 ,  C23C 14/34 C

Fターム (13件)：

3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BC03 ,  3C063BC05 ,  3C063CC02 ,  3C063CC12 ,  3C063EE01 ,  3C063EE15 ,  3C063FF20 ,  3C063FF23 ,  4K029DC21