特許
J-GLOBAL ID：200903071413187125

照明光学系、露光方法及び装置

発明者：
塩澤 崇永

塩澤 崇永 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228042
公開番号（公開出願番号）：特開2004-071776
出願日： 2002年08月05日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】マスク上のパターン形状にあわせて、最適な有効光源領域(照明光束の形状)が得られると共に、それぞれの部分有効光源を相対的に変位させることができる照明光学系、露光方法及び装置を提供する。【解決手段】光源からの光束により、所望のパターンと当該所望のパターンよりも寸法の小さな補助パターンとを有するマスクを照明する照明光学系において、前記所望のパターンが解像され、且つ、前記補助パターンの解像が抑制されるように、前記光束を分割し、前記マスクに対して実質的にフーリエ変換の関係となる所定面に光軸を中心とした四重極状の光量分布を形成する照明光生成手段を有し、前記四重極状の光量分布の夫々の部分の大きさ又は前記光軸と前記四重極状の光量分布の夫々の部分との距離のうち少なくとも一方が可変であることを特徴とする照明光学系を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光束により、所望のパターンと当該所望のパターンよりも寸法の小さな補助パターンとを有するマスクを照明する照明光学系において、 前記所望のパターンが解像され、且つ、前記補助パターンの解像が抑制されるように、前記光束を分割し、前記マスクに対して実質的にフーリエ変換の関係となる所定面に光軸を中心とした四重極状の光量分布を形成する照明光生成手段を有し、 前記四重極状の光量分布の夫々の部分の大きさ又は前記光軸と前記四重極状の光量分布の夫々の部分との距離のうち少なくとも一方が可変であることを特徴とする照明光学系。
IPC (1件)：
H01L21/027
FI (2件)：
H01L21/30 516A ,  H01L21/30 515D
Fターム (9件)：
5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB10 ,  5F046CB13 ,  5F046CB17 ,  5F046DA02 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM