特許

J-GLOBAL ID：200903071415708440

合成石英ガラス光学部材およびその製造方法

発明者： 神保 宏樹 ,  小峯 典男 ,  藤原 誠志 ,  平岩 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-212001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-061829
出願日： 1993年08月27日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】約200nm 以下のVUV光を効率よく選択的にカットし、透過限界波長よりも長波長側では透過率のよい光学部材およびその製造方法を提供する。【構成】各金属不純物が50ppb以下、260nm〜700nmの内部透過率が99.9%以上、透過限界波長が250nm以下、波長傾斜幅が40nm以下である合成石英ガラスからなる光学部材を用いる。

請求項（抜粋）：

各金属不純物が50ppb以下の合成石英ガラスからなり、260nm〜700nmの内部透過率が99.9%以上、透過限界波長が250nm以下、波長傾斜幅が40nm以下であることを特徴とする合成石英ガラス光学部材。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 27/00 ,  G02B 5/22