加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328492
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146435
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】加熱した状態においても熱板の平面度の低下を防止することができる加熱装置を提供する。【解決手段】ベース4と、温度を制御可能な熱板1と、ベース上に熱板を支持するための複数の支持脚2a〜2cと、支持脚2a,2bを、熱板の熱膨張に追従して移動可能とする可動機構3a,3bとを具備する。

請求項（抜粋）：

ベースと、温度を制御可能な熱板と、前記ベース上に前記熱板を支持するための複数の支持脚と、該支持脚を、前記熱板の熱膨張に追従して移動可能とする可動手段とを具備することを特徴とする加熱装置。

Fターム (3件)：

4G015AA00 , 4G015AB01 , 4G015AB03

引用特許：

出願人引用 (3件)

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