特許

J-GLOBAL ID：200903071428580443

四端子法によるインピーダンス測定方法

発明者： 佐藤 義典 ,  村山 林太郎
出願人/特許権者： 日置電機株式会社
代理人 (1件)： 大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-096238
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281280
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 電流プローブに発生する磁界により、電圧プローブ側に測定誤差原因となる誘導電圧が発生しないようにする。【解決手段】 第1,第2電圧プローブ11,12と、第1,第2電流プローブ21,22を用いての四端子法によるインピーダンス測定方法において、回路基板(被測定物)3の下面に導電性基板3を配置するとともに、第1,第2電流プローブ21,22に沿って第3,第4電流プローブ23,24を配置し、この第3,第4電流プローブ23,24を導電性基板3にプロービングさせて、測定電流Iにより第1,第2電流プローブ21,22に発生する磁界を打ち消す方向のキャンセル電流CIを流す。

請求項（抜粋）：

電圧測定部と所定の測定電流Iを発生する電流発生部とを含み、上記電流発生部より第1,第2電流プローブを介して被測定回路基板の所定の配線部に上記測定電流Iを供給し、上記配線部に発生する電圧Vを一対の電圧プローブを介して上記電圧測定部にて測定して、V/Iにより上記配線部のインピーダンスを測定する四端子法によるインピーダンス測定方法において、上記被測定回路基板の下面側に配置される導電性基板と、上記第1,第2電流プローブに沿うように引き回された第3,第4電流プローブとを備え、上記第1,第2電流プローブと上記一対の電圧プローブとを上記配線部に接触させるとともに、上記第3,第4電流プローブ間を上記導電性基板を介して導通させ、上記第3,第4電流プローブに、上記測定電流Iにより上記第1,第2電流プローブに発生する磁界を打ち消す方向のキャンセル電流CIを流すことを特徴とする四端子法によるインピーダンス測定方法。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ,  G01R 1/073

FI (2件)：

G01R 27/02 A ,  G01R 1/073 A

Fターム (14件)：

2G011AA09 ,  2G011AA10 ,  2G011AC33 ,  2G011AD01 ,  2G011AE22 ,  2G028AA01 ,  2G028BB10 ,  2G028BC01 ,  2G028CG08 ,  2G028DH04 ,  2G028DH13 ,  2G028FK01 ,  2G028HN11 ,  2G028HN12