特許

J-GLOBAL ID：200903071433035887

縦型ウエハボート

発明者： 北澤 厚男 ,  本間 浩幸 ,  武田 修一
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103907
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003866
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 セラミック膜の剥離を防止し得、ひいては耐用寿命の長い縦型ウエハボートを提供する。【解決手段】 上下の支持板1,2間に、多数のウエハ積載用溝部3を設けた支持棒4が左右対称に前後に2本ずつ配設され、両支持板及び各支持棒がセラミック基材からなりかつ表面が高純度セラミック膜で覆われ、前方の左右の支持棒の少なくともウエハ積載用溝部がこれに積載される半導体ウエハののウエハ挿入方向と垂直な中心線5よりも前方に位置するように設けられ、各支持棒のウエハ積載用溝部における水平断面が90°以下の鋭角部を有しない多角形状に形成されている。

請求項（抜粋）：

上下の支持板間に、多数のウエハ積載用溝部を設けた支持棒が左右対称に前後に2本ずつ配設され、両支持板及び各支持棒がセラミック基材からなりかつ表面が高純度セラミック膜で覆われ、前方の左右の支持棒の少なくともウエハ積載溝部がこれに積載される半導体ウエハのウエハ挿入方向と垂直な中心線よりも前方に位置するように設けられ、各支持棒のウエハ積載用溝部における水平断面が90°以下の鋭角部を有しない多角形状に形成されていることを特徴とする縦型ウエハボート。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ボートおよびその設置構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-287931   出願人：国際電気株式会社
• 縦型ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-263062   出願人：東芝セラミックス株式会社