特許
J-GLOBAL ID：200903071437874018
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209872
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048224
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】試料表面の正確な凹凸像を得られる、試料表面の電気的特性を調べるための走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー102はチューブスキャナー106に支持されている。交流電源110は探針試料間へ交流電圧を印加し、カンチレバー102を振動させる。FM復調器122はその変位信号を出力し、同期検波器126は変位信号から交流電源110の二倍の角振動数に関する成分を抽出する。減算器128は変位信号から同期検波器126の出力信号を減算した信号を出力し、Zコントローラー112は減算器128の出力信号が一定に保たれるようにチューブスキャナー106を制御する。情報処理部130はXY走査回路114からのXY情報に対応させてZコントローラー112からの凹凸情報と同期検波器124からの表面電荷情報をマッピングして試料表面の凹凸像と電荷分布像を得る。
請求項（抜粋）：
試料表面の電気的特性を調べるための走査型プローブ顕微鏡であり、試料表面の近くに配置される導電性の探針と、探針を自由端に支持するカンチレバーと、探針を試料表面にわたり走査する走査手段と、探針先端と試料表面の間隔を制御する探針試料間隔制御手段と、探針と試料の間に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、カンチレバーの自由端の変位を検知する変位検知手段と、変位検知手段で得られるカンチレバーの変位情報から、調査対象である電気的特性の情報を取り出す電気的特性情報取得手段と、変位検知手段で得られるカンチレバーの変位情報から、探針に働くファンデルワールス力に実質的に起因するカンチレバーの変位に関する成分を取り出す変位成分取得手段と、走査手段からの位置情報に対応させて電気的特性取得手段で得られる電気的特性情報と変位成分取得手段で得られる変位成分情報とをマッピングして試料表面の電気的特性分布像と凹凸像を得る情報処理手段とを有している、試料表面の電気的特性を調べるための走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
