特許
J-GLOBAL ID:200903071444654651
固体撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-311369
公開番号(公開出願番号):特開平5-129572
出願日: 1991年10月31日
公開日(公表日): 1993年05月25日
要約:
【要約】【構成】 基体上に設けられたエピタキシャル層、高濃度半導体層、ゲート酸化膜、および表面保護層を備え、ゲート酸化膜内にゲートを設けるとともに、オプティカル・ブラック画素領域に遮光層を設けた固体撮像装置において、オプティカル・ブラック画素領域と有効画素領域との境界にあるオプティカル・ブラック画素領域またはダミー画素部領域において、エピタキシャル層内に、n型領域を設け、このn型領域を遮光層に接続した。【効果】 OB画素周辺で発生した不要ホールがOB領域内に漏れ込むのを防止することが可能であり、またチップサイズを小型化することができる。
請求項(抜粋):
基板上に設けられたエピタキシャル層、高濃度半導体層、ゲート酸化膜、および表面保護層を備え、前記ゲート酸化膜内にゲートを設けるとともに、オプティカル・ブラック画素領域に遮光層を設けた固体撮像装置において、前記オプティカル・ブラック画素領域と有効画素領域との境界にあるオプティカル・ブラック画素領域またはダミー画素部領域において前記エピタキシャル層内に、前記ゲート酸化層に接する面から前記基板に接する面に達するようにn型領域を設け、このn型領域を前記遮光層に接続したことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/14
, H04N 1/028
, H04N 5/335
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