特許
J-GLOBAL ID：200903071448330761
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076249
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264385
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 一定の耐圧を備え圧電特性が劣化しにくい信頼性の高い圧電体素子の提供。【解決手段】 インクが充填される圧力室基板2の少なくとも一面に、1以上の圧電体素子4を備えた振動板3が設けられたインクジェット式記録ヘッドであって、圧電体素子4は、電圧を印加することにより体積変化を生ずる圧電体層41に、電極膜42を積層して構成され、圧電体層の表面には、平滑化された平滑面44を備えて構成される。
請求項（抜粋）：
電圧を印加することにより体積が変化する圧電体層を電極膜で狭持して構成された圧電体素子であって、前記圧電体層には、その表面に表面粗さが算術平均粗さで25nm以下の精度に平滑化された平滑面を備えたことを特徴とする圧電体素子。
IPC (5件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
