液晶用ガラス基板の位置検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中井宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197883
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024057
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、基板の中心位置と回転方向に生じたズレを検出して、プロセス装置の適正な位置への基板の搬送やカセットへの安全な収納を実現してプロセス上の欠陥発生や基板の破壊を防止するための改良された液晶用ガラス基板の位置検出装置を提供するものである。【解決手段】複数の液晶用ガラス基板を収納したカセット内の特定のガラス基板の位置を検出する装置であって、基板の左右各部に対応して設けられた1対のCCDカメラまたは一方の角部に対応して設けられたCCDカメラより得られた画像を処理して基板の中心位置の基準位置からのずれ量を算出し、この算出結果を基板が収納されているカセットのスロット番号と組合せて記憶し、要求に応じて読み出して出力する液晶用ガラス基板の位置検出装置を特徴としている。

請求項（抜粋）：

複数の液晶用ガラス基板を収納したカセット内の特定のガラス基板の位置を検出する装置であって、(a)前記基板の幅と同一の寸法間隔でかつ基板の表面に対して視線主軸をαだけ傾けて前記カセットの幅方向中心軸に対して左右対称に設けられた1対のCCDカメラと、(b)前記1対のCCDカメラを前記カセットの縦軸方向に昇降させるためのCCDカメラ位置決め手段と、(c)前記1対のCCDカメラにより得られた画像を処理して、前記基板の左右各角部の基準位置からの変位量(dx1、dy1)、(dx2、dy2)を得る画像処理手段と、(d)前記変位量と前記基板の幅寸法(X軸方向寸法)2a、長さ寸法(Y軸方向寸法)2bとから前記基板の基準位置からの回転角【数1】および中心位置のずれ量【数2】を算出する演算手段と、(e)前記演算手段にて得られた前記基板の位置データを前記基板が収納されている前記カセットのスロット番号と組合せて記憶し、要求に応じて読み出して出力する記憶手段とを備えた液晶用ガラス基板の位置検出装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 500 , G01B 11/00

FI (2件)：

G02F 1/1333 500 , G01B 11/00 H

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