特許

J-GLOBAL ID：200903071451572792

製造管理装置とこれを用いた製造管理方法

発明者： 田上 僚一
出願人/特許権者： 宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190885
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020930
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 小規模で確実なバックアップが行える製造管理装置と復旧作業が容易となる製造管理方法を提供すること。【構成】 ロット毎の情報を管理するためのホストコンピュータ1と、モデム5等を介してホストコンピュータ1と接続される端末器2と、一つのロットの情報を記憶する記憶手段4と、記憶手段4との間で情報入出力を行う入出力部23とを備えた製造管理装置であり、記憶手段4内の製造工程情報を端末器2で読み込んで処理を施した後、その処理結果を記憶手段4とホストコンピュータ1とに記憶させる。また、ホストコンピュータ1の停止の際には記憶手段4のみに処理結果を記憶し、復旧後にホストコンピュータ1へ転送する製造管理方法。

請求項（抜粋）：

被製造物の製造をロット単位で管理する製造管理装置であって、前記ロット毎の製造工程情報と製造履歴情報とを統括管理するためのホストコンピュータと、製造装置側に備えられ通信手段を介して前記ホストコンピュータと接続される端末器と、前記端末器との間で情報の入出力が行われ一つのロットにおける前記製造工程情報と前記製造履歴情報とを記憶する記憶手段と、前記端末器に備えられ該端末器と前記記憶手段との間で情報の入出力を行うための入出力手段とから構成され、前記記憶手段に記憶された前記製造工程情報を前記入出力手段を介して前記製造装置へ伝達するとともに、該製造装置での処理結果を該記憶手段の製造履歴情報と前記ホストコンピュータの製造履歴情報とにそれぞれ書き込むことを特徴とする製造管理装置。

IPC (4件)：

G05B 23/02 301 ,  G05B 19/418 ,  H01L 21/02 ,  B23Q 41/00