特許
J-GLOBAL ID：200903071451694057
ポジ型レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131086
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015855
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【課題】 感度・解像度・残膜率・パターン形状・露光マージン・焦点マージンに優れたレジスト組成物を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性フェノール樹脂、(B)キノンジアジドスルホン酸エステル系感光剤、および(C)フェノール化合物を含有するポジ型レジスト組成物において、(C)フェノール化合物がフェノール類とα,α’-2置換キシイレン類との縮合反応により得られるフェノール化合物、およびフェノール類とジシクロペンタジエンとの付加反応により得られるフェノール化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性フェノール樹脂、キノンジアジドスルホン酸エステル系感光剤、下記一般式(I)で表される構造単位を有するフェノール化合物、および下記一般式(II)で表される構造単位を有するフェノール化合物を含有するポジ型レジスト組成物。【化1】(式(I)中、R1〜R3は互いに独立に水素原子、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アルコキシ基、置換可アリール基である。R4〜R11は、互いに独立に水素原子、ハロゲン原子、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アリール基、置換可アルコキシ基である。mは正の整数である。)【化2】(式(II)中、R12〜R15は互いに独立に水素原子、水酸基、ハロゲン原子、置換可アルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可アルケニル基、置換可アルコキシ基、置換可アリール基である。但し、R12〜R15のうち少なくとも一つは水酸基である。nは正の整数である。)
IPC (3件)：
G03F 7/023 511
, G03F 7/022
, H01L 21/027
G03F 7/023 511
, G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
