特許
J-GLOBAL ID:200903071452135175

耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 植木 久一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-272745
公開番号(公開出願番号):特開平7-026386
出願日: 1993年10月29日
公開日(公表日): 1995年01月27日
要約:
【要約】【目的】 基本的にはTiN皮膜や(Ti,Al)N皮膜の優れた特徴を生かしつつ、耐酸化性および耐摩耗性を更に改善した硬質皮膜を提供する。【構成】 TiN皮膜または(Ti,Al)N皮膜に、Ta,Niおよび白金族元素よりなる群から選ばれる1種以上の元素を5〜60原子%の割合で含有させたものである。あるいは、Ta,Niおよび白金族元素よりなる群から選ばれる1種以上の元素の全部又は一部に替えて、ハロゲン元素を0.05〜30原子%となる様に含有させたものである。
請求項(抜粋):
TiN皮膜又は(Ti,Al)N皮膜に、Ta,Niおよび白金族元素よりなる群から選ばれる1種以上の元素を5〜60原子%の割合となる様に含有させたものであることを特徴とする耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜。
IPC (6件):
C23C 26/00 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28 ,  C22C 29/16 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/34
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-279744
  • 特開平4-053642

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