対象物の検査のための組織光学的測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248615
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203563
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】可視光、NIR光またはIR光により特に生きている対象物を検査するための組織光学的測定装置を、簡単かつ経済的に、しかも位置選択性をもって動作するように構成する。【構成】検査すべき対象物6にコヒーレントな光-チャープ信号として供給される測定-チャープ信号を発生させる。対象物6から再び出る測定-チャープ信号を参照-チャープ信号と重畳する。この重畳信号をフィルタ12に供給する。このフィルタ12は、特定の光路長さを対象物6のなかで進んだ、対象物6から再び出る測定-チャープ信号の成分を表す重畳信号の成分のみを通過させる。

請求項（抜粋）：

可視光、NIR光またはIR光により対象物を検査するための組織光学的測定装置において、a)検査すべき対象物(6)にコヒーレントな光-チャープ信号として供給可能である測定-チャープ信号を発生するための手段(1、2、3;1、2、60;1、70;70、Q1 ないしQn )と、b)発生される測定-チャープ信号に対して定められた位相関係にある参照-チャープ信号を発生するための手段(1、2、3;1、2、60;70)と、c)検査すべき対象物(6)から出る測定-チャープ信号の部分を参照-チャープ信号とヘテロダイン信号として重畳させるための手段(8;60;74;M1 ないしMn )と、d)ヘテロダイン信号を供給されており、上限周波数の上側で立下りを有する振幅-周波数応答を有するフィルタ手段(12;53;F1 ないしFn )とを有し、その際に群-検査すべき対象物(6)の外側の測定-チャープ信号の伝播時間、-参照-チャープ信号の伝播時間、-フィルタ手段(12;53;F1 ないしFn )の上限周波数のパラメータが、フィルタ手段(12;53;F1 ないしFn )の出力信号が本質的に、特定の最大光路長さを超過しない光路長さを対象物(6)において進んだ測定-チャープ信号の、検査すべき対象物(6)から出る成分のみを表すように選定されていることを特徴とする対象物の検査のための組織光学的測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/17 , G01N 21/35

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平1-145545
特開平1-184447
特開昭54-123997

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