特許

J-GLOBAL ID：200903071487980560

露光方法及び装置、デバイスの製造方法、及び露光装置の製造方法

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259622
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085314
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 小型化でメンテナンスが容易である光源を使用して、結像特性計測精度を向上する。【解決手段】 露光光源101中の基本波発生部100において、例えばDFB(Distributed feedback)レーザ等からの可視域から赤外域のレーザ光を光ファイバー増幅器を用いて増幅して得られたパルス光を、光ファイバー・バンドル19を介して波長変換部20に供給し、ここで紫外の露光光ILに変換する。その光ファイバー・バンドル19の出力端を分岐した光ファイバー・バンドル138、及び波長変換部139から発生する照明光を開口140に照射して、投影光学系PLのベストフォーカス位置を計測する際に、露光光ILを複数パルスずつ検出して得られる積算エネルギーによって、その計測の際に得られる検出信号を規格化する。

請求項（抜粋）：

評価用マークを照明光で照明し、前記評価用マークの像を投影光学系を介して投影し、前記評価用マークの像と光電検出器とを相対走査させながら前記評価用マークの像の状態を検出し、該検出結果に基づいて露光を行う露光方法において、光ファイバー増幅器によって増幅されたパルスレーザ光を波長変換して得られたパルス紫外光を前記照明光として使用し、前記評価用マークの像を前記光電検出器によって検出する際に、照明光としての前記パルス紫外光の強度を複数パルス毎、又は所定の時間間隔毎に計測し、該計測結果に基づいて前記光電検出器の検出信号を規格化することを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 C

Fターム (11件)：

5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB15 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC01