特許

J-GLOBAL ID：200903071499098049

照明装置並びにこれを用いた検査装置、エンコーダ及び高さ測定装置

発明者： 山羽 常雄
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077101
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277399
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【目的】 検査時間を増加させることなく、半径方向における光学センサの分解能を円周方向の分解能とほぼ同じ程度にする。【構成】 ビーム出力手段は、同じ大きさの細長い楕円形をした2本の光ビームf3,f5を出力する。2本の光ビームf3,f5の楕円形の長径がそれぞれ長方形の対向する辺に該当しながら進行する。集光レンズ4は、ビーム出力手段から出力される2本の光ビームの一方f3を中心付近に入射し、他方f5を中心から離れた端付近に入射して両方の光ビームf3,f5を被検査試料面5に集光する。これによって、被検査試料面5に線状に所定のピッチで離散的に配列された複数の微小照明光が照射される。

請求項（抜粋）：

同じ大きさの細長い楕円形をした少なくとも2本の光ビームであって、前記光ビームのそれぞれの楕円形の長径が平行な関係を維持しながら進行するように前記光ビームを出力するビーム出力手段と、前記ビーム出力手段から出力される前記光ビームの長径がそれぞれ一致するように前記光ビームを被検査試料面にそれぞれ異なる角度で照射することによって、前記被検査試料面に線状に所定のピッチで離散的に配列された複数の微小照明光を照射する照射手段とを備えたことを特徴とする照明装置。

IPC (5件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/95 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/958

FI (5件)：

G01N 21/84 E ,  G01B 11/00 B ,  G01N 21/95 A ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/958

Fターム (49件)：

2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA24 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065CC03 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF15 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH01 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065NN00 ,  2F065NN05 ,  2F065PP02 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ51 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA71 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11