微小変位測定用ヘッド

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015151
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265342
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 STMとAFMが一台の装置で両方できる。【構成】走査型顕微鏡に使用する探針において、複数の針を近接して配置するために、探針を放射線状に配置した。【効果】複数の走査型プローブが独立して動き、しかも、近接した領域にあるので同じ所の走査が可能である。

請求項（抜粋）：

物質表面の形状観察を行う装置のヘッドにおいて、1種類あるいは2種類以上の検出方法によって、形状観察および科学的データを計測するため、カンチレバー型の走査針が一点を中心にして放射線状に設置されていることを特徴とした微小変位測定用ヘッド。

IPC (3件)：

G01B 21/30 , G01B 7/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

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