特許
J-GLOBAL ID:200903071501549479
熱硬化性組成物、固体撮像素子のハレーション防止膜およびその形成方法、ならびに固体撮像素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大島 正孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-337499
公開番号(公開出願番号):特開2004-190006
出願日: 2003年09月29日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】 固体撮像素子におけるカラーフィルターやマイクロレンズを形成する際の露光工程において、下地基板からの乱反射光を効果的に抑制でき、かつ高度の耐熱性を有するハレーション防止膜を形成するのに適した熱硬化性組成物、それを用いてハレーション防止膜を形成する方法およびその方法により形成されたハレーション防止膜、ならびにそのハレーション防止膜を有する固体撮像素子を提供すること。【解決手段】 熱硬化性組成物は、[A](a1)エポキシ基含有不飽和化合物、および(a2)放射線吸収性基を有するラジカル重合性化合物、を含有する単量体の共重合体、ならびに[B]多価カルボン酸無水物および多価カルボン酸よりなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含有する。 ハレーション防止膜は上記組成物より形成され、固体撮像素子はそのハレーション防止膜を有する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
[A](a1)エポキシ基含有不飽和化合物 および
(a2)放射線吸収性基を有するラジカル重合性化合物、を含有する単量体混合物
の共重合体、ならびに
[B]多価カルボン酸無水物および多価カルボン酸よりなる群から選択される少なくとも1種の化合物
を含有することを特徴とする熱硬化性組成物。
IPC (3件):
C08L33/14
, C08K5/092
, H01L27/14
FI (3件):
C08L33/14
, C08K5/092
, H01L27/14 D
Fターム (22件):
4J002BG071
, 4J002EF066
, 4J002EF076
, 4J002EF086
, 4J002EF106
, 4J002EF116
, 4J002EF126
, 4J002EL136
, 4J002EL146
, 4J002FD146
, 4J002FD150
, 4J002FD310
, 4J002GP00
, 4J002GQ00
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118EA01
, 4M118GC07
, 4M118GC17
, 4M118GD04
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)