特許
J-GLOBAL ID：200903071507043992
積層型圧電アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096632
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007193
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 高湿度環境下でも使用可能で十分に均一なガラス絶縁材のコーティング厚みを有する積層型圧電アクチュエータを提供すること。【構成】 チタン酸、ジルコン酸、鉛系の内部電極層数70層の積層型圧電アクチュエータであって、この積層型圧電アクチュエータの側面の4面に乾式及び湿式の転写法によりガラス絶縁材ペーストを所定の厚みに塗型し、所定の温度及び時間で焼成し、ガラス絶縁材の外装部15を施した後に、積層型圧電アクチュエータの外部電極13に端子16を接続した。
請求項（抜粋）：
複数の内部電極を有する積層型圧電アクチュエータを製造する外装工程において、均一な厚みにパターンニングされたガラス絶縁材ペーストを、転写法により前記積層型圧電アクチュエータの表面へ転写させた後に、焼成することにより、前記積層型圧電アクチュエータの表面にガラス絶縁材を形成することを特徴とする積層型圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 S
