特許

J-GLOBAL ID：200903071509111111

クリームはんだ膜厚測定装置

発明者： 樋山 喜一
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-155330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327332
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 クリームはんだ1Aの膜厚を高精度に測定し、測定レンジが大きく、プリント基板1の反りの影響を排除し、倣い制御できる装置を提供する。【構成】 プリント基板1のパターン面にレーザ光を焦光し、レーザ光の焦点距離でクリームはんだ1Aの膜厚を測定するレーザ変位計3を備える。レーザ変位計3をプリント基板1と相対的にXYZ直交軸方向に移動制御することにより、クリームはんだの膜厚を高精度に測定する装置を提供できる。レーザ変位計3の位置出力が零となる位置でレーザ変位計3の昇降を停止し、前記位置を測定開始点とすることにより、膜厚測定のレンジを大きくできる。

請求項（抜粋）：

プリント基板(1) のパターンにクリームはんだ(1A)を印刷し、クリームはんだ(1A)の膜厚を測定する装置であって、プリント基板(1) を搭載し、X軸方向に移動するテーブル(2) と、プリント基板(1) のパターン面にレーザ光(31)を焦光し、レーザ光(31)の焦点距離でクリームはんだ(1A)の膜厚を測定するレーザ変位計(3) と、レーザ変位計(3) を保持し、レーザ変位計(3) をZ軸方向に昇降する第1の移動手段(4) と、第1の移動手段(4) をX軸方向と直交するY軸方向に移動する第2の移動手段(5) を備えることを特徴とするクリームはんだ膜厚測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  H05K 3/34 512 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/06 Z ,  H05K 3/34 512 B ,  H01L 21/66 P