特許
J-GLOBAL ID：200903071544652753
ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-161878
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347315
出願日： 2004年05月31日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】ウェハカセットに収納されている全てのウェハを一括してハンド部に搭載することができ、ウェハの搬送効率が向上するウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】 ウェハ搭載部2をエンジニアリングプラスチックと金属の張り合わせ構造とする。3箇所の吸着孔で吸引することによりウェハを安定して保持できる。これによりノッチが不要となり、ウェハ間のクリアランスが十分となる。ウェハ搭載部2は25枚一括で支持されており、ハンド部1とロボットアーム部13との接続切り離しが可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウェハカセットの各収納部に対応した複数のウェハ搭載部が支持部により一体で支持されるハンド部と、
該ハンド部に接続および切り離し可能なロボットアーム部とを具備するウェハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/68 D
, H01L21/68 B
, B65G49/07 G
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA09
, 5F031GA03
, 5F031GA08
, 5F031GA32
, 5F031GA40
, 5F031PA30
