特許

J-GLOBAL ID：200903071547884302

石英ガラス光学部材の製造方法

発明者： 八馬 進 ,  菊川 信也 ,  大田 幸則
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091875
公開番号（公開出願番号）：特開平11-001331
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】石英ガラス中にCl元素などの不純物の残存を生じさせることなくOH基量分布を低減させる。【解決手段】製造工程中の加熱処理は非塩素雰囲気中で行うとともに、合成された石英ガラス体を軟化点以上の温度に加熱し、酸水素火炎加水分解法における石英ガラス体の成長軸方向と同一方向に重力による変形を行わせて、成形石英ガラス体を得る工程を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

酸水素火炎加水分解法によって成長軸に沿って合成される石英ガラス体よりなる紫外レーザを照射して用いる石英ガラス光学部材の製造方法であって、該製造工程中の加熱処理は非塩素雰囲気中で行うとともに、合成された石英ガラス体を軟化点以上の温度に加熱し、酸水素火炎加水分解法における石英ガラス体の成長軸方向と同一方向に重力による変形を行わせて、成形石英ガラス体を得る工程を備えることを特徴とする石英ガラス光学部材の製造方法。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03C 3/06 ,  G02B 1/00

FI (5件)：

C03B 20/00 E ,  C03B 20/00 F ,  C03B 8/04 P ,  C03C 3/06 ,  G02B 1/00