特許

J-GLOBAL ID：200903071548080495

石英ガラス治具およびその製造方法

発明者： 栗山 満葉 ,  山形 茂 ,  稲木 恭一 ,  瀬川 徹
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264039
公開番号（公開出願番号）：特開平7-097225
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 耐エッチング性の高い石英ガラス治具を提供すること。【構成】 石英ガラスの仮想温度が1200°C以下であることを特徴とする石英ガラス治具。

請求項（抜粋）：

石英ガラスの仮想温度が1200°C以下であることを特徴とする石英ガラス治具。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C03B 32/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-030334
  
• 特開平3-177325
  
• 特開平3-266431
  
• 特開平3-136316