セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174369
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004985
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】密着力に優れるITO蒸着膜等からなる透明電極膜を有してその表面抵抗値の低さに優れており、薄型軽量の液晶セルを形成しうる樹脂系のセル基板の開発。【解決手段】揮発成分の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板(1)に、透明電極材からなる蒸着膜(3)を設けてなるセル基板、及び揮発成分の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板を減圧下の蒸着室に配置して、蒸着方式により透明電極材からなる蒸着膜を樹脂基板上に設ける電極形成法。【効果】樹脂基板を減圧下の蒸着室に配置した場合に基板中の揮発成分が揮発してチャンバー内に拡散してそのガスが表面抵抗値や基板との密着力に影響することを回避できる。

請求項（抜粋）：

揮発成分の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板に、透明電極材からなる蒸着膜を設けてなることを特徴とするセル基板。

IPC (6件)：

G02F 1/1333 500 , C23C 14/08 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 310 , G09F 9/35 , H01B 5/14

FI (6件)：

G02F 1/1333 500 , C23C 14/08 D , G02F 1/1343 , G09F 9/30 310 , G09F 9/35 , H01B 5/14 A

Fターム (45件)：

2H090HA04 , 2H090HB13X , 2H090HC05 , 2H090HC17 , 2H090HC18 , 2H090HD08 , 2H090JA06 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JC18 , 2H090JD08 , 2H092HA04 , 2H092KB05 , 2H092KB23 , 2H092KB24 , 2H092MA05 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092NA25 , 2H092NA28 , 2H092PA02 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 5C094AA04 , 5C094AA14 , 5C094AA15 , 5C094AA43 , 5C094AA47 , 5C094AA60 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094FB01 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094FB15 , 5C094JA01 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC05 , 5G307FC10

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