特許

J-GLOBAL ID：200903071564068039

テープ処理装置及び処理方法

発明者： 佐藤 公治 ,  板東 昭雄 ,  岡本 道夫 ,  三井 一彦
出願人/特許権者： 株式会社新川 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-145391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045405
出願日： 1991年05月21日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】複数台の処理装置を配置してテープへの連続処理を可能にする。【構成】処理装置1と処理装置2間に、テープ6をたるませるバッファ装置40を配置する。

請求項（抜粋）：

テープを処理する複数台の処理装置間に、テープをたるませるバッファ装置を配置し、テープを連続処理することを特徴とするテープ処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 321 ,  H01L 21/56

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-123044