特許
J-GLOBAL ID：200903071564819573
インクジエツト記録ヘツド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326327
公開番号（公開出願番号）：特開平5-131637
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 ノズルの開口形状を台形とすることにより、従来の三角形のノズルよりも、インク滴の吐出方向が安定したインクジェット記録ヘッドを提供する。【構成】 発熱抵抗体7を有するヒーター基板1の上には、厚膜絶縁層3が設けられ、バイパスピット6とピット8が形成されている。チャネル基板2は、シリコンウェハを用いて、異方性エッチングを行ない、インクリザーバ5とチャネル部9が形成される。これら2枚の基板を接合した後、ダイシングソーで切断する。切断位置は、(C)図に破線で示したように、チャネル部9のパターン端部の傾斜部であるから、(A)図に示すように、開口形状が台形のノズルを作製できる。
請求項（抜粋）：
圧力発生手段を有する第1の基板と、シリコンの異方性エッチングによりチャネル部およびインクリザーバが形成された第2の基板とを接合して構成されるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記チャネル部のノズル面における開口形状が台形に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
