特許
J-GLOBAL ID：200903071570011693
エネルギフィルタ及び電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-247071
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135062
出願日： 1998年09月01日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 操作者の機械的な調整コストなしに種々異なるエネルギ帯域幅に切り換えることができる結像電子エネルギフィルタを提供すること。【解決手段】 種々異なるエネルギ帯域幅は、電子光学的に調整され、フィルタの出射側には、偏向系とトランスファレンズが設けられている。発散面に、段階付けられた縁領域を有する開口を有している絞り装置が設けられており、電子ビームの偏向によって、スリット絞りは、種々異なったスリット長でシュミレートされる。偏向系によって作用する、フィルタの発散方向に対して垂直な電子ビームの偏向は、後続のトランスファレンズ又は別の偏向系によって再度補償され、その結果、画像ずれが補償される。
請求項（抜粋）：
エネルギフィルタにおいて、出射画像形成面(BA)と発散面(S)とを有しており、前記発散面(S)内又は該発散面(S)に対して共役の面(S′)内でのエネルギ選択用の絞り装置(14,27,30)、前記絞り装置(14,27,30)の前に設けられていて電子ビームを偏向する、少なくとも1つの偏向系(12,13;12′,13′;12′,25)を有しており、該偏向の際、前記偏向系(12,13;12′,13′;12′′,25,28)の種々異なる励起及び該励起から生起する、前記絞り装置(14,27,30)に対して相対的な前記電子ビームの種々異なる偏向によって、種々異なるエネルギ帯域幅を調整するように構成したことを特徴とするエネルギフィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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