特許

J-GLOBAL ID：200903071577487936

基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法

発明者： フレデリック・デニス・ベイリィ ,  ダグラス・アンドリュー・バッハナン ,  アレサンドロ・セサレ・カレガリィ ,  ハワード・マーク・クリアフィールド ,  ファド・エリアス・ドーニィ ,  ドニス・ジョージ・フラゲロ ,  ハロルド・ジョン・ホーベル ,  ダグラス・チャールス・ラツリーペ・ジュニア ,  ナフタリ・エリア・ラスチグ ,  アンドリュー・トーマス・スチュワート・ポメリン ,  サンパス・プラショタマン ,  クリストファ・ミカエル・シェーパーリール ,  ディビッド・マール・シーガー ,  ジーン・マーガレット・シャウ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296206
公開番号（公開出願番号）：特開平7-242493
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 炭化水素/ヘリウム・プラズマから基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムをプラズマ・エンハンスド化学蒸着(PECVD)する改善された方法を提供する。【構成】 プラズマ・エンハンスド化学蒸着装置8により基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法において、炭化水素及びヘリウムのガスを混合し、上記基板15をプラズマ室10に装着し、上記ガスを上記プラズマ室10内に導入して、上記基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着することを含む上記基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法。【効果】 本発明により形成されるフィルムは、熱的に安定であり、光学的に透明であり、堅くそしてアモルファスである。これらの物理的特性を示すこの様なフィルムは、遠紫外線(UV)反射防止被膜として非常に有用である。

請求項（抜粋）：

プラズマ・エンハンスド化学蒸着により基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法において、炭化水素及びヘリウムのガスを混合し、上記基板をプラズマ室に装着し、上記ガスを上記プラズマ室内に導入して、上記基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着することを含む上記基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法。

IPC (8件)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  C23C 8/26 ,  C23C 8/50 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/314 ,  C08J 7/06 ,  G03F 1/08