特許

J-GLOBAL ID：200903071592284081

画像位置検出装置

発明者： 左近 祐治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167306
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 入力画像の濃淡反転が生じた場合であっても、精度良く位置検出を行うことができる画像位置検出装置を提供する。【構成】 同一パターンで、しかも少なくとも部分的に濃淡関係が相互に反転状態にある2つの画像がそれぞれ第1及び第2の基準画像としてメモリに記憶される。また、被測定物たる半導体ウエハ1の撮像領域の像が撮像されて、入力画像が得られる。そして、その入力画像の部分画像が第1及び第2の基準画像のうち少なくとも一方とほぼ一致することをもって、入力画像の部分画像のうちから第1あるいは第2の基準画像と一致する部分画像位置が特定される。【効果】 入力画像の濃淡反転が生じた場合であっても、第1あるいは第2の基準画像との照合によって位置検出を精度良く行うことができる。

請求項（抜粋）：

所定の照明位置に照明光を照射する照明光学系と、その一方主面に透明薄膜を形成してなる被測定物を搭載しながら、その被測定物の任意の撮像領域を前記照明位置に位置させるステージと、前記撮像領域からの反射光を所定位置に集光させて前記撮像領域の像を結像する結像光学系と、前記撮像領域の像を撮像して、入力画像を得る撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された同一パターンで、しかも少なくとも部分的に濃淡関係が相互に反転状態にある2つの画像をそれぞれ第1及び第2の基準画像として記憶する記憶手段と、前記入力画像の部分画像が前記第1及び第2の基準画像のうち少なくとも一方とほぼ一致することをもって、前記入力画像の部分画像のうちから前記第1あるいは第2の基準画像と一致する部分画像位置を特定する手段と、を備えた画像位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68