特許
J-GLOBAL ID：200903071593426025
位相格子とその作製方法並びに光学式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-141532
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334609
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 自然放射光に対して0次回折効率を極小とした位相格子及びこの位相格子を用いた高信頼性の光学式エンコーダを提供する。【構成】 光の波長λ、位相格子のピッチ長p、該位相格子の基材の屈折率n、該位相格子の周囲の媒質の屈折率n0、前記凹部の傾斜部の幅に対する格子深さの比である形状比eを用いて、|nーn0|×(pーd'/e)/p×d'=(λ/2)×(1+2m) (但し、m=0、±1、±2、・・・)で算出される深さd'よりも大きな深さの位相格子とする。
請求項（抜粋）：
矩形形状の凹部を有する位相格子であって、光の波長λ、位相格子のピッチ長p、該位相格子の基材の屈折率n、該位相格子の周囲の媒質の屈折率n0、前記凹部の傾斜部の幅に対する格子深さの比である形状比eを用いて、|n-n0|×(p-d'/e)/p×d'=(λ/2)×(1+2m) (但し、m=0、±1、±2、・・・)で算出される深さd'よりも大きな格子深さを具備することを特徴とする位相格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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