特許

J-GLOBAL ID：200903071596565700

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者： 工藤 康人
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 菅 直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246925
公開番号（公開出願番号）：特開平9-071472
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 例えばハイブリットICやマルチチップモジュール等に用いるガラスセラミック基板の製造方法に係り、基板の面方向の焼成収縮率を可及的に低減して高寸法精度のガラスセラミック基板を容易に製造できるようにする。【解決手段】 ガラス粉末とフィラーからなるグリーンシートを焼成してガラスセラミック基板を製造するに当たり、上記フィラーの一部または全部に偏平粒子を用い、その偏平粒子を上記グリーンシートの面方向に平行に配向させた状態で焼成するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガラス粉末とフィラーからなるグリーンシートを焼成してガラスセラミック基板を製造するに当たり、上記フィラーの一部または全部に偏平粒子を用い、その偏平粒子を上記グリーンシートの面方向に平行に配向させた状態で焼成するようにしたことを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。

IPC (6件)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/495 ,  H01L 23/12 ,  H01L 23/15 ,  H05K 1/03 610 ,  H05K 3/46

FI (8件)：

C04B 35/00 G ,  H05K 1/03 610 D ,  H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 T ,  C04B 35/00 J ,  H01L 23/12 D ,  H01L 23/12 N ,  H01L 23/14 C